Грибов Б.Г. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука. 1981г.
350 руб.
Грибов Б.Г. Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений. М.: Наука. 1981г. 322с. Монография отражает последние достижения одной из наиболее интересных областей применения металлоорганических соединении – получение пленок металлов, нитридов, карбидов, оксидов металлов и полупроводниковых материалов термическим разложением металлоорганических соединений. Рассмотрены теоретические основы процесса осаждения покрытий, особенности их структуры и морфологии, приводится технология получения пленок. Книга предназначена для научных сотрудников, работников различных отраслей промышленности , преподавателей, аспирантов и студентов вузов. Твердый переплет. Увеличенный формат. Хорошее состояние.